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zygo白光干涉儀介紹
- 2019-12-16-

?zygo白光干涉儀測量原理   

zygo白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,它以白光干涉技術為原理,光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被測表面反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光匯聚并發生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌光學非接觸白光干涉原理對樣品進行表面輪廓測量,從而獲取樣品表面三維形貌。

功能介紹

提供強大的多功能的非接觸式光學表面測量分析??梢院唵慰焖俚販y量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面,所有測量無損、快速,且無需樣品制備。提供專業的分析軟件,可極其描繪和定量分析表面粗糙度、輪廓度、平面度、臺階高度、曲率半徑等形貌特征。

主要技術參數 :

·縱向分辨率:優于0.15nm

·掃描速度:≥110 μm/s

·縱向掃描范圍:0~8mm,非拼接

·RMS重復性:<0.01nm

·系統單次測量視場:可擴展到3mm × 3mm

·臺階測量:準確度 ≤ 0.75%;重復性 ≤ 0.1% 1σ

·樣品臺:自動X,Y平移(150mm);平臺大?。?00mm×200mm

·鏡頭:4個鏡頭自動磚塔;目鏡:0.55x,1x,物鏡:20x,2.5x

 

 

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