NEXIV VMR-K3040ZC

CNC視頻圖象坐標測量儀

NEXIV VMR-K3040ZC

這是一款共聚焦（Confocal）型的視頻圖象坐標測量儀，它能夠在同一視場內，同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測IC封裝的立體形狀。

1、2、3 型

利用共聚焦光路，實現大視場、高速、高精度的微觀高度測量；

在同一視場內，能夠同時完成二維平面和一維高度的高精度測量；

同時擁有普通機型的15倍高速CNC變焦光學系統，可以進行明暗場圖象的二維幾何測量；

8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置；

通過對硅片尺寸、芯片尺寸、芯片間隔的指定，可以按圖定位測量其中的任意一個芯片；

具有等高線顯示、鳥瞰顯示等選配功能。

應用領域：
硅片級芯片封裝（二維＋高度）、MEMS、Probe Card等。

明場

共聚焦

合成效果