NEXIV VMR-H3030系列

CNC視頻圖象坐標測量儀

NEXIV VMR-H3030系列

該設備具有極高的精度以及多種多樣的功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量，還可以作為精密檢測室的主檢測設備使用。 8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進行自由切換，以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有極高的精度，加上其合理的布局以及堅固耐用的硬件設計，使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達到了亞微米級，可以滿足精密模具的檢測需求。

1、2、3 型

超高精度，適于用作精密檢測室的主檢測設備；

3個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求；

有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準確探測的需求；

較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對工件高度方向的空間需求；

高達15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比，采用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確。

應用領域：
精密檢測室的主檢測設備，模具及精密機械零件測量。

精密掩模板

精密機械零件

模具

Z120X 型（帶高倍頭）

具有超高精度的載物臺，與高倍頭配合使用，能夠準確測量工件的細微部位（如精密掩膜及芯片凸點高度等關鍵尺寸）光學放大倍數可達120X，能夠測量微距線寬；

高速、高精度的載物臺有助于對較大的物體尺寸，進行快速、準確地測量；

可以分別測量刻線的上下寬度；

激光自動掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等；

可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。

應用領域：
各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。

精密掩模板

倒裝芯片上的凸點

芯片凸點形貌色標顯示