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Verifire? MST 波長調制多表面同時測試干涉儀
- 2023-06-30-

圖片6

化繁為簡 – 多個表面會產生復雜的條紋圖案,Verifire? MST 采用波長調制技術,可同時采集多個表面的相位數據。  提供平行窗口各表面的關鍵參數、透射波前以及精確的面與面之間的信息,如總厚度變化(TTV)、楔角甚至是材料不均勻性。

Verifire? MST 通過對薄至 0.5 mm 的測試件進行精確的表面和厚度變化測量,可滿足移動設備顯示屏玻璃、數據存儲光盤和半導體晶圓等高要求應用的需求。 

Verifire? MST 可對光學元件和鏡頭系統的表面形貌和透射波前進行高精度測量。它是一個可以同時測量多個表面形貌的商用干涉儀系統,可以保持相對表面信息,并快速提供多個表面的結果。

主要特點

· 同時進行表面和波前表征,還可進行精確的面與面之間的測量,如 TTV 和楔角

· 薄至 0.5 mm 的測試樣件的表面形貌和厚度分析

· 廣泛的橫向分辨率,包括像素限制的光學設計,可提供較佳的 ITF

· 1.2k x 1.2k(包括分立變焦,可實現高達 3 倍的光學變焦(適用于進口干涉儀))

· 2.3k x 2.3k

· 3.4k x 3.4k

· 工作波長為 633 nm 到 1.053 μm、1.064 μm 和 1.55 μm

· ZYGO 獨有的 QPSI? 采集技術,可在振動較常見的環境中實現可靠的測量,該技術現在可用于波長移相和多表面 FTPSI 數據采集

· Ring of Fire火環偽影減少源為標準配置,可消除靶心并降低相干噪聲

 


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