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大口徑激光干涉儀系統更大的口徑,適用于大尺寸光學元器件的計量
- 2023-06-30-

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24 英寸大口徑干涉儀系統

ZYGO 的水平軸擴束器可以將 4 英寸干涉儀的原生口徑尺寸增加到 12 英寸、18 英寸、24 英寸甚至 32 英寸,實現了對大尺寸光學元件和光學系統進行高精度的干涉測量。

臥式大口徑系統提供了獨特的能力,可以保持兩個獨立的計量通道;一個是原生的 4 英寸干涉儀口徑,另一個是擴展到 32 英寸的光束,將兩個干涉儀合二為一。  當配置適當的配件時,大口徑系統可用于測量表面面形輪廓和透射波前質量。

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32 英寸大口徑干涉儀系統

ZYGO 擴束器已在全球范圍內部署,適用于在高要求的應用中對大尺寸光學器件進行精確的計量。  我們在擴束器的開發和關鍵部件(如超精密參考平面)的內部生產方面擁有數十年的經驗,可以確保您的應用需求得到滿足,并確保您在未來得到很好的支持。

大口徑系統組件可以與干涉儀主機分開購買。請聯系您當地的 ZYGO 代表,協助您配置滿足您的計量需求的系統。

主要特點

· 更大的口徑尺寸 12 英寸、18 英寸、24 英寸和 32 英寸

· 雙通道 4 英寸和擴展腿,增加了靈活性,大、小口徑均可使用

· 可實現高分辨率,每個擴束器都能保持干涉儀系統的 ITF,高可達 3.4k x 3.4k

· 支持 QPSI 抗振采集

· 工作波長為 633 nm 到 1.55 μm

· 每個口徑尺寸都有一系列的光學和機械配件可供選擇,包括高達 λ/25 PVr 的參考光學元器件

 


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