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納米位置傳感器
- 2023-06-30-

ZYGO 納米位置傳感器被廣泛應用于閉環運動控制系統,如光刻機和半導體檢測工具的工作臺,以及可變形光學系統。30 多年來,我們一直在位移和位置傳感器領域開拓創新,并與需要高精度和可靠性的客戶緊密合作。我們的應用專家團隊可以隨時幫助您解決您的位置計量挑戰。

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位移測量干涉儀

ZYGO 的 ZMI? 系統使用外差干涉儀技術,可精確地測量位置的相對變化。

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位置傳感器

ZYGO 的 ZPS? 系統使用超緊湊的非接觸式光學傳感器,可在高達 64 個同步通道上測量 1.2 mm 范圍內的位置。

應用

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OEM 服務

30 多年來,ZYGO 的位置測量傳感器一直被用于 OEM 應用。我們明白,您需要的是一個值得信賴的合作伙伴,為您提供操作可靠、質量穩定的創新位置計量解決方案,并要能按時交貨。

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工作臺伺服控制

憑借 30 多年的經驗,ZYGO 的納米位置傳感產品已成為值得信賴的產品之一,可連續運行,性能卓越。

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自適應光學器件控制

通過了解自適應光學器件的實際變形情況,實現對其更精確的控制!ZPS? 提供了多達 64 個平行排列的小尺寸傳感器,可直接測量反射鏡或其他光學器件的前后表面,使您能夠重建表面變形情況,獲得較佳的像差校正。

 

 


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