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Zygo白光干涉儀工作原理
- 2019-12-16-

zygo白光干涉儀是選用海外白光干涉掃描儀技術性研發的納米技術重量級晶相檢測儀器,穿透高精密的掃描儀系統軟件分析計算方式,開展試品表層超微粒晶相的測量與深入分析。表層顯微鏡顯像工作能力與高精密精確測量的融合,只需數秒左右,就能觀察到表層的三維輪廊、臺階高度、表層紋路、外部經濟規格及其包括各種主要參數的精確測量結果。
系統軟件選用氣浮筏減振控制模塊、牢固的花崗石和鋼架結構支撐點,具備優異的可靠性。精確測量全過程簡單而迅速,只需把被測物塊置放到載物臺,聚焦點出干預花紋,按住精確測量按鍵就能剛開始全部精確測量全過程。
標準配備選用六軸手動式調節的載物服務平臺,可根據不一樣檢測規定做延展性調節,并可選裝電動式載物服務平臺,以保持全自動定位、全自動聚焦點、全自動縫線之大規模高精密的量測規定,試品均不需前解決就能開展非毀壞、高精密、迅速的表層晶相精確測量和深入分析。 
☆ 電子光學燈光控制系統 選用鹵素燈源、管理中心光波長為576nm、光譜儀范疇340nm—780nm
☆ 電子光學顯像系統軟件 選用無限遠電子光學顯像系統軟件、由顯微鏡物鏡和顯像目鏡構成 
☆ 豎直掃描儀系統軟件 選用閉環控制反饋調節方法驅動器顯微鏡物鏡豎直挪動、挪動范疇0-500μm、部位挪動精密度 0.1nm
☆ 信號分析系統軟件 電子計算機和模擬信號協處理器構成、收集系列產品初始圖象信息應用專用型模擬信號協處理器進行信息zygo白光干涉儀是運用電子光學干預基本原理新產品研發的超高精密表層輪廓測量儀器。照明燈具光線經半反半透分光鏡分為兩束光,各自投影到試品表層和參照鏡表層。從2個表層反射面的兩束光再度根據分光鏡后生成一束光,并由顯像系統軟件在CCD照相機光感應面產生2個累加的像。因為兩束光互相干預,在CCD照相機光感應面能觀查到明暗交界線兩色的干預花紋。干預花紋的色度在于兩束光的光程差,依據白光干涉花紋明暗度及其干預條款出現的部位分析出被測試品高度。

 

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